四氟化硅的沸点是负65摄氏度。四氟化硅，也叫氟化硅，分子量为104、06。它的分子形状为正四面体形，密度是1、590，四氟化硅为无色、有毒、有刺激性臭味的气体，吸湿性非常强，容易潮解，在潮湿空气中可产生浓烟雾。因此，储存时需要避免强酸，避免潮湿空气。
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