之所以晶圆都做成圆形,主要的是考虑单位面积利用率和生产问题.。
硅锭被"拉"出来的时候就一定是圆的。几乎不可能直接获得方的硅锭,除非将圆的硅锭切削成方的,但这样无异于浪费。正方形浪费的使用面积比率是比圆型高的。很多晶圆生产设备的工艺原理必然要求选择圆型晶圆,圆型具有任意轴对称性,这是晶圆制作工艺必然的要求,可以想象一下,在圆型晶圆表面可以通过旋转涂布法事实上是目前均匀涂布光刻胶的唯一方法,获得很均匀一致的光刻胶涂层。昨天的小确幸,是你呀,今天的小确幸,还是你呀!
本站声明:本站部分文章来自网络,由用户上传分享,如若内容侵犯了您的合法权益,可联系我们进行处理。文章仅供大家学习与参考,不**本站立场。